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微系统设计
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/(美)Stephen D.Senturia著 刘泽文等译
ISBN/ISSN：7-121-00422-4
丛编：国外电子与通信教材系列
中图分类号：TM38
价格：CNY59.00
出版：北京 电子工业出版社 ,2004
并列题名：Microsystem Design
简介：本书介绍了涉及微机电系统(MEMS)设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路与系统。
责任者：Senturia ,Stephen D. 著 刘泽文 译 王晓红 译 黄庆安 译 Emami-Naeini ,Abbas 著 富兰克林 著 朱齐丹 译 张丽珂 译 原新 译
载体形态：14,453页 图 ;26cm
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