| 字段 | 字段内容 |
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| 005 | 20050411202032.0 |
| 009 | $0: 12003939298 |
| 010 | $a: 7-121-00422-4$d: CNY59.00 |
| 035 | $a: (110017)062002014221 |
| 100 | $a: 20041202d2004 em y0chiy0110 ea |
| 101 | $a: chi$c: eng |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: a z 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 微系统设计$9: wei xi tong she ji$f: (美)Stephen D.Senturia著$g: 刘泽文等译 |
| 210 | $a: 北京$c: 电子工业出版社$d: 2004 |
| 215 | $a: 14,453页$c: 图$d: 26cm |
| 225 | $a: 国外电子与通信教材系列 |
| 305 | $a: Kluwer Academic Publishers授权出版 |
| 330 | $a: 本书介绍了涉及微机电系统(MEMS)设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路与系统。 |
| 510 | $a: Microsystem Design$z: eng |
| 606 | $a: 微电机$j: 教材 |
| 690 | $a: TM38$v: 4 |
| 701 | $c: (美)$a: Senturia$b: Stephen D.$4: 著 |
| 702 | $a: 黄庆安$9: huang qing an$4: 译 |
| 801 | $a: CN$b: 110017$c: 20041206 |
| 905 | $a: LITL$b: 610614-18$d: TM38$r: CNY59.00$e: S048 |
| 999 | $a: 03$b: 5$e: 2005108 |
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