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微机电系统设计与制造
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/莫锦秋等编著
ISBN/ISSN：7-5025-5237-5
丛编：光机电一体化丛书
中图分类号：TM38-49 TH-39 TM38
价格：CNY30.00
出版：北京 :化学工业出版社 ,2004
简介：本书介绍了微机电系统及其相关技术，分12章，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了通俗的介绍。
责任者：莫锦秋 编著
载体形态：177页 :图 ;26cm
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| 二楼北区 | 542215 | TM38/M855 | 542215 | 在架可借 | ||
| 二楼北区 | 542216 | TM38/M855 | 542216 | 在架可借 | ||
| 负一层 | 542213 | TM38/M855 | 542213 | 在架可借 |
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