| 字段 | 字段内容 |
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| 005 | 20221028155446.0 |
| 009 | $0: 12003922248 |
| 010 | $a: 7-5025-5237-5$d: CNY30.00 |
| 035 | $a: (110017)012004010278 |
| 100 | $a: 20040511d2004 em y0chiy0110 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: a z 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 微机电系统设计与制造$9: wei ji dian xi tong she ji yu zhi zao$f: 莫锦秋等编著 |
| 210 | $a: 北京$c: 化学工业出版社$d: 2004 |
| 215 | $a: 177页$c: 图$d: 26cm |
| 225 | $a: 光机电一体化丛书 |
| 330 | $a: 本书介绍了微机电系统及其相关技术，分12章，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了通俗的介绍。 |
| 410 | $1: 2001 $a: 光机电一体化丛书 |
| 461 | $1: 2001 $a: 光机电一体化丛书 |
| 606 | $a: 微电机$j: 普及读物 |
| 690 | $a: TM38$v: 4 |
| 701 | $a: 莫锦秋$9: mo jin qiu$4: 编著 |
| 801 | $a: CN$b: 021001$c: 20040526 |
| 905 | $a: LITL$b: 542213-16$d: TM38$r: CNY30.00$e: M855 |
| 999 | $a: 02$b: 4$e: 2004083 |
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