| 字段 | 字段内容 |
|---|---|
| 001 | 0100058186 |
| 005 | $2: 0080905094257.0 |
| 010 | $a: 978-7-302-15196-8$d: CNY59.00$z: 7-302-15196-2 |
| 100 | $a: 20080331d2008 ekmy0chiy0121 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: ak a 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 微系统设计与制造$A: wei xi tong she ji yu zhi zao$d: = Microsystem design and fabrication$f: 王喆垚编著$z: eng |
| 210 | $a: 北京$c: 清华大学出版社$d: 2008 |
| 215 | $a: 648页$c: 图$d: 26cm |
| 225 | $a: 清华大学信息科学技术学院教材$A: qing hua da xue xin xi ke xue ji shu xue yuan jiao cai$i: 微电子光电子系列 |
| 300 | $a: 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 |
| 320 | $a: 有书目 |
| 330 | $a: 本书介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术, 以及前沿应用领域的多种典型器件, 主要内容包括: 微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统 (PF MEMS)、光学微系统 (MOEMS)、生物医学微系统 (BioMEMS) 以及微流体与芯片实验室。 |
| 333 | $a: 可供高等院校电子、微电子、微机电系、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用, 也可供相关领域的工程技术人员参考 |
| 410 | $1: 2001 $a: 清华大学信息科学技术学院教材$i: 微电子光电子系列 |
| 462 | $1: 2001 $a: 微电子光电子系列 |
| 510 | $a: Microsystem design and fabrication$z: eng |
| 606 | $a: 微电子技术$A: wei dian zi ji shu$x: 制造 |
| 690 | $a: TN40$v: 4 |
| 701 | $a: 王喆垚$A: wang zhe yao$4: 编著 |
| 801 | $a: CN$b: LITL$c: 20080905 |
| 905 | $a: LITL$b: 789081-84$d: TN40$r: CNY59.00$e: W689 |
| 999 | $a: 08$b: 4$e: 2008072 |
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