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微系统设计与制造
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= Microsystem design and fabrication 王喆垚编著
ISBN/ISSN：978-7-302-15196-8
丛编：清华大学信息科学技术学院教材
中图分类号：TN40
价格：CNY59.00
出版：北京 清华大学出版社 ,2008
并列题名：Microsystem design and fabrication
简介：本书介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术, 以及前沿应用领域的多种典型器件, 主要内容包括: 微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统 (PF MEMS)、光学微系统 (MOEMS)、生物医学微系统 (BioMEMS) 以及微流体与芯片实验室。
责任者：王喆垚 编著
载体形态：648页 图 ;26cm
附注：普通高等教育“十一五”国家级规划教材 可供高等院校电子、微电子、微机电系、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用, 也可供相关领域的工程技术人员参考
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