| 字段 | 字段内容 |
|---|---|
| 001 | 0100052491 |
| 005 | $2: 0070705133430.0 |
| 010 | $a: 7-5639-1690-3$d: CNY55.00 |
| 100 | $a: 20070307d2006 em y0chiy0110 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: a z 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 聚焦离子束微纳加工技术$9: ju jiao li zi shu wei na jia gong ji shu$f: 顾文琪, 马向国, 李文萍著 |
| 210 | $a: 北京$c: 北京工业大学出版社$d: 2006 |
| 215 | $a: 344页$d: 26cm |
| 225 | $a: 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 300 | $a: 国家科学技术著作出版基金资助 |
| 330 | $a: 本书讲述聚焦离子束技术的原理、聚焦离子束系统的结构及聚焦离子束技术的应用实例和发展前景，同时还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。 |
| 410 | $1: 2001 $a: 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 461 | $1: 2001 $a: 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 606 | $a: 半导体工艺$x: 离子束加工 |
| 690 | $a: TN305$v: 4 |
| 701 | $a: 李文萍$9: li wen ping$f: (1976-)$4: 著 |
| 801 | $a: CN$b: LITL$c: 20071120 |
| 905 | $a: LITL$b: 766849-51$d: TN305$r: CNY55.00$e: G515$v: 2 |
| 999 | $a: 03$b: 3$e: 2007101 |
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