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聚焦离子束微纳加工技术
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/顾文琪, 马向国, 李文萍著
ISBN/ISSN：7-5639-1690-3
丛编：电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
中图分类号：TN305.7 TN305
价格：CNY55.00
出版：北京 :北京工业大学出版社 ,2006
简介：本书讲述聚焦离子束技术的原理、聚焦离子束系统的结构及聚焦离子束技术的应用实例和发展前景，同时还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
责任者：顾文琪 ((1941-)) 著 马向国 ((1975-)) 著 李文萍 ((1976-)) 著
载体形态：344页 ;26cm
附注：国家科学技术著作出版基金资助
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| 二楼北区 | 766851 | TN305/G515/2 | 766851 | 2 | 在架可借 | |
| 二楼北区 | 766849 | TN305/G515/2 | 766849 | 2 | 在架可借 |
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