| 字段 | 字段内容 |
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| 001 | 0100047514 |
| 005 | 20221117163819.0 |
| 009 | $0: 12003999072 |
| 010 | $a: 7-5639-1432-3$d: CNY45.00 |
| 035 | $a: (110017)012005071016 |
| 100 | $a: 20051129d2004 em y0chiy0110 ea |
| 101 | $a: chi |
| 102 | $a: CN$b: 110000 |
| 105 | $a: a z 000yy |
| 106 | $a: r |
| 200 | $a: 微纳加工中的精密工件台技术$9: wei na jia gong zhong de jing mi gong jian tai ji shu$f: 刘俊标, 薛虹, 顾文琪著 |
| 210 | $a: 北京$c: 北京工业大学出版社$d: 2004 |
| 215 | $a: 278页$c: 照片，图$d: 26cm |
| 225 | $a: 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 330 | $a: 本书介绍了精密加工和精密测量等方面应用的精密工件台技术，主要讨论应用在光刻机中的精密工件台，围绕着如何提高工件台的精密、运行速度、行程等目标而展开论述。 |
| 410 | $1: 2001 $a: 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 461 | $1: 2001 $a: 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| 606 | $a: 电子束光刻$x: 研究 |
| 690 | $a: TN305$v: 4 |
| 701 | $a: 顾文琪$9: gu wen qi$4: 著 |
| 801 | $a: CN$b: 110017$c: 20051129 |
| 905 | $a: LITL$b: 747520-23$d: TN305$r: CNY45.00$e: L630 |
| 999 | $a: 07$b: 4$e: 2007013 |
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