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微纳加工中的精密工件台技术
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/刘俊标, 薛虹, 顾文琪著
ISBN/ISSN：7-5639-1432-3
丛编：电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
中图分类号：TN305.7 TN305
价格：CNY45.00
出版：北京 :北京工业大学出版社 ,2004
简介：本书介绍了精密加工和精密测量等方面应用的精密工件台技术，主要讨论应用在光刻机中的精密工件台，围绕着如何提高工件台的精密、运行速度、行程等目标而展开论述。
责任者：刘俊标 著 薛虹 著 顾文琪 著
载体形态：278页 :照片，图 ;26cm
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| 二楼北区 | 747520 | TN305/L630 | 747520 | 在架可借 |
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