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200 $a: 微系统技术$9: wei xi tong ji shu$f: (德)W. Menz等著$g: 王春海,于杰等译
210 $a: 北京$c: 化学工业出版社$d: 2003
215 $a: 468页$d: 20cm
306 $a: WILEY出版公司授权出版发行
330 $a: 本书介绍了微系统技术的基础知识,详细介绍了光刻技术、硅技术、LIGA技术、微结构加工技术、封装技术、系统技术等。
510 $a: Microsystem Technology$z: eng
606 $a: 微电子技术
690 $a: TN4$v: 4
701 $c: (德)$a: 门茨$9: men ci$c: (Menz, W.)$4: 著
702 $a: 于杰$9: yu jie$c: (微系统技术)$4: 译
801 $a: CN$b: NLC$c: 20031204
905 $a: LITL$b: 610884-88$d: TN4$r: CNY38.00$e: M550
999 $a: 09$b: 5$e: 2005109

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