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微系统技术
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/(德)W. Menz等著 go王春海，于杰等译
ISBN/ISSN：:7-5025-4692-8
中图分类号：TN4
出版：北京 :化学工业出版社 ,2003
并列题名：Microsystem Technology
简介：本书介绍了微系统技术的基础知识，详细介绍了光刻技术、硅技术、LIGA技术、微结构加工技术、封装技术、系统技术等。
责任者：门茨 著 王春海 译 于杰 译
载体形态：468页 go20cm
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| 馆藏部门 | 物理位置 | 图书条码 | 索书号 | 登录号 | 卷期 | 状态 |
| 二楼北区 | 610885 | TN4/M550 | 610885 | 在架可借 | ||
| 老馆三楼 | 610886 | TN4/M550 | 610886 | 在架可借 | ||
| 二楼北区 | 610887 | TN4/M550 | 610887 | 在架可借 | ||
| 二楼北区 | 610888 | TN4/M550 | 610888 | 在架可借 | ||
| 老馆三楼 | 610884 | TN4/M550 | 610884 | 在架可借 |
| 序号 | 图书条码 | 索书号 | 登录号 | 藏书部门 | 流通状态 | 年卷期 | 装订册 | 装订方式 | 装订颜色 |
| 类型 | 说明 | URL |
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