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电子束曝光微纳加工技术
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/顾文琪主编
ISBN/ISSN：7-5639-1300-9
中图分类号：TN305.7 TN305
价格：CNY50.00
出版：北京 :北京工业大学出版社 ,2004
简介：本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标，电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。
责任者：顾文琪 主编
载体形态：310页 :照片，图 ;26cm
附注：电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
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