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005 20131014150120.0
010 $a: 978-7-111-40657-0$d: CNY69.00
100 $a: 20130321d2013 em y0chiy0121 ea
101 $a: chi$c: eng
102 $a: CN$b: 110000
105 $a: ak a 000yy
106 $a: r
200 $a: 微机电系统基础$A: wei ji dian xi tong ji chu$d: = Foundations of MEMS$f: (美) Chang Liu著$g: 黄庆安译$z: eng
210 $a: 北京$c: 机械工业出版社$d: 2013
215 $a: xiii, 397页$c: 图$d: 26cm
225 $a: 国外电子电气经典教材系列$A: guo wai dian zi dian qi jing dian jiao cai xi lie
305 $a: 译自原书第2版
306 $a: 本书中文简体字版由Pearson Education (培生教育出版集团) 授权机械工业出版社在中华人民共和国境内独家出版发行
314 $a: 责任者规范汉译姓名: 刘昶
320 $a: 有书目
330 $a: 本书第1版被翻译成3种文字出版发行, 并已被美国一些著名大学作为教科书, 在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法; 第3章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识; 第4-9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法, 及其相关的传感器与执行器; 第10-11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术, 而器件制造方法则插入到实例研究中; 第12章讨论了工艺技术的综合应用; 第13章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术; 第14章讨论了微流控原理及应用。根据这些敏感与执行方法以及制造方法; 第15章选择了MEMS商业化产品实例进行介绍。
410 $1: 2001 $a: 国外电子电气经典教材系列
500 $1: 0$a: Foundations of MEMS$m: Chinese
606 $a: 微电机$A: wei dian ji
690 $a: TM38$v: 5
701 $a: 刘昶$A: liu chang$4: 著
702 $a: 黄庆安$A: huang qing an$4: 译
801 $a: CN$b: LITL$c: 20131014
905 $a: LITL$b: 912126-9$d: TM38$r: CNY69.00$e: L592

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