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101 $a: chi$c: eng
102 $a: CN$b: 110000
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106 $a: r
200 $a: MEMS和微系统——设计与制造$9: MEMS he ban wei xi tong — — she ji yu zhi zao$f: (美)徐泰然(Tai-Ran Hsu)著$g: 王晓浩等译
210 $a: 北京$c: 机械工业出版社$d: 2004
215 $a: 17,402页$c: 图$d: 24cm
306 $a: 与美国麦格劳-希尔教育(亚洲)出版公司合作出版
330 $a: 本书提供了对MEMS技术基础的深入观察,涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础,讲解了微系统工程的基本原理,列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。
510 $a: MEMS & Microsystems - Design and Manufacture$z: eng
606 $a: 微电机
690 $a: TM38$v: 4
701 $a: Hsu$b: Tai-Ran$4: 著
702 $a: 王晓浩$9: wang xiao hao$4: 译
801 $a: CN$b: NLC$c: 20040401
905 $a: LITL$b: 630300-03 $b: 632351-54$d: TM38$e: X815$r: CNY38.00
999 $a: 09$b: 4$b: 4$e: 2005171

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