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106 $a: r
200 $a: 微系统原理与技术$9: wei xi tong yuan li yu ji shu$f: 傅建中,胡旭晓编著
210 $a: 北京$c: 机械工业出版社$d: 2005
215 $a: 223页$c: 图$d: 24cm
330 $a: 本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点;全面介绍了微系统设计技术、微制造技术、微系统检测技术等。
510 $a: Microsystems Theory and Technology$z: eng
606 $a: 微电机
690 $a: TM38$v: 4
701 $a: 胡旭晓$9: hu xu xiao$4: 编著
801 $a: CN$b: RENTIAN$c: 20050317
905 $a: LITL$b: 626814-17$d: TM38$r: CNY26.00$e: F929
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